氨質(zhì)譜檢漏儀是以氨氣作為示漏氣體，對(duì)真空設(shè)備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測(cè)的檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡(jiǎn)便檢測(cè)迅速等特點(diǎn)是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器其測(cè)量工作原理如下。
氨質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，用氨氣作為示漏檢測(cè)氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。其結(jié)構(gòu)主要由進(jìn)樣系統(tǒng)、離子源、質(zhì)量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計(jì)等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。
質(zhì)量分析器是一個(gè)均勻的磁場(chǎng)空間不同離子的質(zhì)荷比不同在磁場(chǎng)中就會(huì)按照不同軌道半徑運(yùn)動(dòng)而進(jìn)行分離在設(shè)計(jì)時(shí)只讓氨離子飛出分析器的縫隙打在收集器上。收集放大器收集氨離子流并送入到電流放大器，通過測(cè)量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計(jì)指示質(zhì)譜室的壓力及用作保護(hù)裝置。
近年來，隨著高真空檢漏技術(shù)科學(xué)領(lǐng)域的不斷發(fā)展和應(yīng)用技術(shù)的日趨成熟，以及高真空檢漏儀器技術(shù)的不斷創(chuàng)新和進(jìn)步儀器更新?lián)Q代很快。從技術(shù)性能、高可靠性、準(zhǔn)確性、耐用性、靈活性和性價(jià)比等各方面都有著劃時(shí)代的進(jìn)步，從而使高真空檢漏儀器從科學(xué)研究領(lǐng)域、實(shí)驗(yàn)室的應(yīng)用逐漸普及到工業(yè)和民用領(lǐng)域的應(yīng)用。
氨質(zhì)譜檢漏技術(shù)是在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里應(yīng)用廣泛的一種，這種檢漏方法的優(yōu)點(diǎn)是：檢漏靈敏度高（可以檢漏到10-12Pa·m3/s數(shù)量級(jí)）、儀器響應(yīng)快、操作簡(jiǎn)便、成本較低、用途廣泛等，所以氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用。
氨質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)在真空檢漏領(lǐng)域里不僅能定位、定性、定量檢漏，且具有操作簡(jiǎn)便、準(zhǔn)確可靠、成本較低、用途廣泛等特點(diǎn)。采用這種檢漏技術(shù)無論從小件到大件從小系統(tǒng)到大系統(tǒng)檢漏從確定漏孔檢漏到確定漏率檢漏，都能準(zhǔn)確快捷有效。隨著氨質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展和成熟，未來將逐漸滲透到各個(gè)高低端行業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用前景廣闊因此值得推廣應(yīng)用。
